艾明坷科技（北京）有限公司

实验室气体的危险性

1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；

2.多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；

3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激1射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。

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试验室集中供气系统的特点

1、特点：试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高，为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。

2、经济性：建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间，更换气瓶时不需要切断气体，保证气体的连续供应。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成中央供气系统。使用者只需管理较少的气瓶，支付较少的气瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的气瓶管理。

3、使用率：集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。

4、安全性：保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。

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氦质谱检漏仪

真空检漏的方法很多，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中；

漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；

1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；

检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；

反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；

消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；

漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。

高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。气瓶间的位置如果可能尽量位于与试验室相对独立的房间，如果与试验室在同一大楼内，则气瓶间的位置要尽量位于人1流较少并且独立的房间，这种方式可使气瓶与工作人员及仪器完全隔离，即使有害气体有泄漏，也不会发生直接伤害。